262A  半自动 LED 晶圆贴片机
卖点
  • 适用方型铁环
  • 适用 2寸 / 4寸 / 6寸 晶圆
  • 热熔切膜,膜有张力
机台优势
  • 抽换膜料容易
  • 贴膜面高张力
  • 无气泡残留
  • 不损伤铁环
  • 人性化操作接口
  • 可兼作手动撕膜机用
  • 可重复滚压晶圆增加附着力
作业方式

将方型铁框放置于贴片机移载台上,再将 2寸、4寸或 6寸晶圆放置晶圆吸附座上,启动方型铁框吸附和晶圆吸附,移载台移动至贴膜位,膜自动下降熔切于方型铁框上,移载台于移出至放置区前,会以一贴合轮使膜和晶圆贴合,可根据该晶圆品种厚度调整贴合压力,膜面张力亦可依客户制程需求作调整。贴合完成后由操作者将工作物取下。

设备规格
设备尺寸 1000 mm × 1041 mm × 1880 mm ( W×D×H )
设备重量 500 kg
电源AC 1 Ø 220 V  ∕  10 A
空气源 6~8 Kgf/cm2 (10 ØTube)
设备应用范围
晶圆尺寸 2寸~ 6寸
晶粒尺寸
雷切深度
铁环尺寸 方型铁框 ( Inside : ☐ 192 mm ; Outside : ☐ 211.5 mm ;t= 1.35 mm )
机台特性
方型铁环放置检知

专利分区吸附晶圆机构

分区吸附晶圆,降低晶圆翘曲,提升贴膜良率

多种晶圆吸附选项功能

可单独做方型铁框贴膜作业

快速抽换膜料

快速抽换膜料和更换废料卷轴

可依不同厚度晶圆调整贴合压力

全 ∕ 破片自动贴膜作业

本机可执行 2寸、4寸、6寸 全 ∕ 破片自动贴膜作业

*网站信息仅供参考,实际设备规格依双方交易中规格书载明内容为主。

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