卖点
- 机台配合预切割胶膜（Precut Tape）使用，省略胶带切割与回收时间。
- 可对应高强度机械特性的 Polyimide Film（聚酰亚胺 PI 胶膜）。透过机构将胶膜分离吸附于胶膜平台上固定并均匀加温，使胶膜与铁环结合后，膜面平整没有皱褶。
机台优势
- 贴膜前可均匀加热胶膜
- 可控制贴膜压力值
- 使用抽屉式一次放置双卡匣
- 新膜 RFID 读取
- 铁框 2D Code 读取
- 卡匣 2D Code 读取
- 支持 SECS／GEM 通信
作业方式
- ➠人工将空铁框置入框堆叠机构、空卡匣放入卡匣模组，并完成胶膜安装。
- ➠手臂取出铁框至贴膜平台，同时机构将新膜取下固定在胶膜平台。
- ➠胶膜平台下压于贴膜平台进行压贴制程。
- ➠手臂取出已貼膜鐵框推送至卡匣出料。
设备规格
| 设备尺寸 | 2130 × 2400 × 2400 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ ) |
|---|---|
| 设备重量 | 2560 kg |
| 电源ＡＣ | 220V Single-Phase, 60Hz |
| 空气源 | Air Pressure 7kgf/cm2 Air Tube Diameter Ø12mm |
设备应用范围
| 晶圆尺寸 | 无 |
|---|---|
| 铁环尺寸 | 10寸 |
| 膜料尺寸 | 膜宽 380mm Ø325mm Precut Tape |
机台特性
全自动化
全自动连续生产
快速生产
无需胶带切割与回收时间
数值控制
贴膜参数数值控制，确保贴膜质量稳定
清净送风
配备 22.5×46 inches 双 HEPA 送风单元
生产履历
新胶膜卷 / 铁框 / 卡匣，皆读取 ID 上传中控纪录
均匀加温
胶膜于贴铁环前可进行加热动作
*网站信息仅供参考，实际设备规格依双方交易中规格书载明内容为主。
