卖点
- 可依照灯管光衰现象自动调整累积光量
- 氮气腔体，固化工件打印记号
机台优势
- 照度监测
- 氮气室设置
- 双搬运手臂作业，AGV无人搬运系统搭配上下料
作业方式
- 全自动
设备规格
| 设备尺寸 | 2265 × 1435 × 2317 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ ) |
|---|---|
| 设备重量 | 1790 kg |
| 电源ＡＣ | 单相 220V 60Hz |
| 空气源 | 6kgf ∕ cm2 |
设备应用范围
| 晶圆尺寸 | 8寸圆片、12吋圆片、方片 212 × 216 mm |
|---|---|
| 铁环尺寸 | 外径Ø296 ，内径 250，宽 276，ｔ＝1.2 mm 外径Ø400 ，内径 350，宽 380，ｔ＝1.5 mm |
| 膜料尺寸 | – |
机台特性
条码读取
卡匣条码读取，铁环条码读取
斜插判断
卡匣内片数、位置、叠片、斜插侦测
AGV
无人搬运系统搭配自动上下料
温度监控
照度计监测，温度监测
表头讯号回馈
监测表头数字化、讯号反馈
支持静电消除
静电消除器
支持 SECS/GEM
SECS/GEM系统 含E84 通讯协议
*网站信息仅供参考，实际设备规格依双方交易中规格书载明内容为主。
