228-3FA  全自动真空贴压机
卖点
  • SECS / GEM 功能
  • 适用单面 / 双面膜
  • 全自动贴片压合 ( 可贴合晶圆 + 陶瓷盘 / 玻璃等材料 )
机台优势
  • 压合受力均匀
  • 快速抽换膜料和更换废料滚动条
  • 搭配自动手臂,全自动快速生产
  • 真空环境下进行压合,大幅降低贴合面之残留气泡
作业方式
  • 步骤一:操作人员将 6寸晶圆卡匣、晶圆载盘卡匣、及各膜料放置预定位置后开始作业。
  • 步骤二:利用机械手臂,将 6寸晶圆从卡匣取出,经中心对位及正反面判读后,再放置于晶圆吸附平台上。
  • 步骤三:晶圆吸附平台移至胶膜贴合位,利用压轮及夹膜机构夹住胶膜并滚压移载台移动至切割位。
  • 步骤四:切割刀下降至预定位置,旋转刀具切割膜料,切割完成后上升。
  • 步骤五:移载台移至撕膜位,利用撕膜胶带将 6寸晶圆上之离型膜黏起后,移载台移至真空压合位。
  • 步骤六:机械手臂将晶圆载盘从卡匣取出,经中心对位及正反面判读后,再放置于上吸附盘。
  • 步骤七:真空压合机构下降至预定位置,真空罩开始吸真空,到达预定真空值后开始进行 6寸晶圆与晶圆载盘之贴合。
  • 步骤八:完成贴合后,机械手臂再将成品取回,放置成品区卡匣,完成。

《持续重复步骤二~步骤八。》

设备规格
设备尺寸 2800 mm × 1200 mm × 2500 mm ( W×D×H )
设备重量 2000 kg
电源AC 3 Ø 220 V  ∕  50 A
空气源 5~8 Kgf/cm2 (12 ØTube)
设备应用范围
晶圆尺寸 6寸
晶粒尺寸
雷切深度
贴合物尺寸 8寸
机台特性
压合受力均匀

快速抽换膜料

快速抽换膜料和更换废料卷轴

搭配自动手臂,全自动快速生产

IR 灯加热

可视制程需求选配 IR 灯作加热使用

真空压合

使用抽真空进行压合,大幅降低贴合面之残留气泡

膜料依晶圆外型切割

双面贴膜作业时,晶圆贴膜站会依据晶圆外径尺寸,切割符合其形状之膜料作贴合

条码读取

每片贴合作业可搭配扫条码功能,以利生产纪录

Aligner 辨识贴合物之正反面

使用自动手臂与 Aligner 辨识与翻转晶圆与贴合物之正反面,并自动旋转至正确贴合位置

*网站信息仅供参考,实际设备规格依双方交易中规格书载明内容为主。

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