卖点
- 六轴多角度切割
- 支持 RFID
- 空中无人搬运 OHT 系统
机台优势
- 贴膜张力控制
- Alignment: CCD 图形识别对位
- FFU HEPA 高效率空气过滤符合 Class 1000 无尘环境
- 机台可不停机连续作业，操作人员可进行 FOUP 更换
- 双屏幕触控接口
作业方式
- 步骤一：将 12吋 FOUP 放置于 Load Port 上，各膜料安装至指定位置后开始作业。
- 步骤二：Load Port 开盖，完成 Mapping 扫描。机械手臂将第一片晶圆从晶圆盒取出，置于寻边对位载台上开始进行寻边校正。机械手臂再将第二片取出放置于暂存牙叉上。
- 步骤三：机械手臂将已完成校正晶圆取至贴膜平台。贴膜平台上升至贴膜作业位置。 同时暂存区移载机构将第二片晶圆移载至寻边对位载台上进行寻边校正。机械手臂使用快换装置，将牙叉放置于牙叉放置位，至切刀预热区取切割刀。
- 步骤四：贴膜滚轮将胶膜贴附至晶圆上。
- 步骤五：机械手臂将切割刀对晶圆边缘切割膜料，切割完成后机械手臂离开贴膜区。 机械手臂使用快换装置将切割刀放回预热区，至牙叉放置区取牙叉。贴膜平台下降至进出交握位。
- 步骤六：机械手臂将已完成贴膜晶圆取回 FOUP。
- 步骤七：机械手臂再从晶圆盒取出第三片晶圆放置暂存牙叉上。
《持续重复步骤三~步骤七》
清刃作业：机械手臂将刀由预热区取至清刃位，完成清刃后放回切刀预热区。
设备规格
| 设备尺寸 | 1930 × 2230 × 2400 mm (Ｌ×Ｗ×Ｈ)（不含讯号塔灯） |
|---|---|
| 设备重量 | 2000 kg |
| 电源ＡＣ | 380V（Three-phase 5-wire；Line to neutral: 220V） |
| 空气源 | Air Pressure 0.7~0.8 MPa Air Tube Diameter Ø12mm |
设备应用范围
| 晶圆尺寸 | 12寸 |
|---|---|
| 晶粒尺寸 | 无 |
| 雷切深度 | 无 |
| 铁环尺寸 | 无 |
| 膜料尺寸 | 宽 330 mm × 长 100 M |
机台特性
切刀预热功能
胶膜切割刀刃：最高可预热至 200度
切刀清洁功能
切割刀刃清洁
平台加热功能
贴膜载台：晶圆载台温控，最高 110度
平台抗沾黏
晶圆载台喷涂抗静电铁氟龙
滚轮加热功能
胶膜贴合滚轮：滚轮温控最高 110度、滚轮下压力调整
快速换膜系统
气压式胶卷固定，膜料卷可快速更换
静电消除装置
静电消除装置
系统监控
SECS ∕ GEM ∕ E84 通讯
*网站信息仅供参考，实际设备规格依双方交易中规格书载明内容为主。
