卖点
- 可依照品种改变调整累积光
- Bernoulli Fork 设置，可对应翘曲度 7mm 以下芯片
- 贴膜视觉瑕疵检查，撕除 UV 胶膜
- Precut 胶膜低张力贴膜机制
机台优势
- 照度监测
- 照射室温度监测
- 多屏幕触控界面
- FFU HEPA 高效率空气过滤符合 Class 1000 无尘环境
- AGV 无人搬运系统搭配上下料
- 胶膜 RFID 辨识系统
- 手持式条码枪设置
作业方式
全自动
设备规格
| 设备尺寸 | 3323 × 2930 × 2573 mm (Ｗ×Ｄ×Ｈ) |
|---|---|
| 设备重量 | 4600 kg |
| 电源ＡＣ | 单相220V 60Hz |
| 空气源 | 6kgf ∕ cm2 |
设备应用范围
| 晶圆尺寸 | 8寸圆片、12寸圆片、方片212 mm x 216 mm |
|---|---|
| 铁环尺寸 | 外径 Ø296，内径 250，宽 276，ｔ＝1.2 mm 外径 Ø400，内径 350，宽 380，ｔ＝1.5 mm |
| 膜料尺寸 | 8寸Precut = 290 mm，normal =300 mm 12寸Precut = 390 mm，normal = 400 mm |
机台特性
Precut 胶膜贴附机制
实现低张力贴膜
斜插判断
卡匣内片数、位置、叠片、斜插侦测
AGV
无人搬运系统搭配自动上下料
温度监控
照度计监测，温度监测
表头讯号回馈
监测表头数字化、讯号反馈
贴标系统
可对应 60 x 10 和 60 x 12 mm 标签纸大小
支持静电消除
静电消除器
支持SECS/GEM
SECS/GEM系统 含E84 通信协议
*网站信息仅供参考，实际设备规格依双方交易中规格书载明内容为主。
