卖点
- 机台可不停机连续作业
- 贴膜张力控制
机台优势
- 采用视觉对位方式，圆形片与方形片达到共享机制
- FFU HEPA 高效率空气过滤符合 Class 1000 无尘环境
- 双屏幕触控界面
- AGV 无人搬运系统搭配自动上下料
作业方式
全自动
设备规格
| 设备尺寸 | 1850 × 2003 × 2500 mm (Ｗ×Ｄ×Ｈ) |
|---|---|
| 设备重量 | 1740 kg |
| 电源ＡＣ | 单相 220V 60HZ |
| 空气源 | 6kgf ∕ cm2 |
设备应用范围
| 晶圆尺寸 | 8寸圆片、12寸圆片、方片 212 x 216 mm |
|---|---|
| 膜料尺寸 | 8寸 230 mm x 100 米 12寸 330 mm x 100 米 方片 330 mm x 100 米 |
机台特性
AGV
无人搬运系统搭配自动上下料
贴膜滚轮加热
最高温度110度
切刀/载台加热
切刀加热，最高温度200度
晶圆载台温控，最高温度110度
切刀清洁功能
切割刀刃清洁
晶圆ID辨识
OCR识别读取功能
支持静电消除
静电消除器
表头讯号回馈
监测表头数字化、讯号反馈
支持SECS/GEM
SECS/GEM系统 含E84 通信协议
*网站信息仅供参考，实际设备规格依双方交易中规格书载明内容为主。
