卖点
- 采用 UV LED 光源，均匀度佳，寿命长，工作温度低，照度监控
- 配备氮气腔，氮气耗量小，效果佳
- 支持 RFID，SECS／GEM，空中无人搬运 OHT 系统
机台优势
- 氮气环境
- LED UV 光源
- 无须预热暖机
- 不含汞，也不会产生对人体有害的臭氧
作业方式
- 步骤一：将 12寸铁环卡匣放置于载台上。
- 步骤二：Mapping Sensor 开始扫描卡匣内铁环数量并侦测是否有斜插放置。
- 步骤三：夹爪取出铁环至整定位置进行铁环校正。
- 步骤四：交替手臂（A）将校正后第一片铁环搬移至照射平台。同时夹爪再取出第二片铁环进行校正。
- 步骤五：照射平台移至 UV照射室内，N2 气流盘下降至照射平台上进行 N2 循环吹气。 同时交握手臂（B）取起第二片校正后铁环待命。
- 步骤六：UV 灯开启，UV 灯由照射平台下方缓慢移动照射整面胶膜使其固化。
- 步骤七：照射平台移出照射室由交替手臂（A）取出第一片铁环搬移至整定位置，再由交替手臂（B）将第二片铁环放置于照射平台进行照射。
- 步骤八：夹爪将第一片解胶完成铁环放回卡匣内，再取出第三片铁环。
《持续重复步骤三~步骤八》
设备规格
| 设备尺寸 | 1925 × 1445 × 1840 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ )（不含信号塔灯） |
|---|---|
| 设备重量 | 1350 kg |
| 电源ＡＣ | 220 (1 phase) |
| 空气源 | Air Pressure 0.5~0.7 MPa Air Tube Diameter Ø10 mm |
设备应用范围
| 晶圆尺寸 | 12寸 |
|---|---|
| 晶粒尺寸 | – |
| 雷切深度 | – |
| 铁环尺寸 | 12寸 |
| 膜料尺寸 | – |
机台特性
卡匣入料
单一卡匣进行作业
支持 OHT
OHT 无尘室天车输送系统预留
斜插判断
芯片扫描片数，斜插判断
效率佳
双吸盘手臂交替搬运，减少等待时间
支持 RFID
卡匣 RFID 读取
支持静电消除
静电消除器
表头讯号回馈
各监测表头数字化、信号反馈
照度监控
可依据生产需求，调整 UV灯照射强度
温度监控
UV照度监测，温度监测
工作温度低
无热辐射，被照物表面温升低
光均匀度佳
光输出稳定，照射效果均匀
支持 SECS/GEM
SECS/GEM 系统含 E84 通讯协议
*网站信息仅供参考，实际设备规格依双方交易中规格书载明内容为主。
