卖点
- SECS / GEM 功能
- 全自动超音波洗净
- 条码读取
机台优势
- 可置放两组卡匣
- 加热功能
- 四面溢流与过滤循环功能
作业方式
- 第一槽: 药剂超音波槽。
- 第二槽: 药剂超音波槽。
- 第三槽: 纯水 QDR 槽。
- 第四槽: 纯水 QDR 槽。
- 第五槽: 纯水 QDR 槽。
- 第六槽: 真空干燥槽。
设备规格
| 设备尺寸 | 4330 mm × 2120 mm × 2980 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ ) |
|---|---|
| 设备重量 | 3500 kg |
| 电源ＡＣ | 415V (50/60 Hz) 3 phase 5 wire Volt.(V) 240V (50/60 Hz) (RSTNG) Volt.(V) |
| 空气源 | 压缩干燥空气 6~8 Kgf/cm2 |
| N2 | General Nitrogen 2 m³/min |
设备应用范围
| 晶圆尺寸 | 6寸晶圆 |
|---|---|
| 晶粒尺寸 | – |
| 雷切深度 | – |
| 胶环尺寸 | – |
| 膜料尺寸 | – |
机台特性
全自动作业
全自动快速清洗
条码读取
入料站设有片数检查功能与晶圆盒 ID 读取功能
卡匣
可置放两组卡匣
超音波洗净
智能型自动追频式主机
加热
加热功能，最高温 90 ℃
Sensor
Level Sensor 用以侦测液位，并设有漏液检知
上下摆动
上下摆动功能，可作速度调整
晶圆倾斜
晶圆倾斜调整，可作角度调整
溢流与循环
四面溢流与过滤循环功能
水阻监控
水阻值监控计
*网站信息仅供参考，实际设备规格依双方交易中规格书载明内容为主。
