3121-1FA 全自动12寸晶圆裂片机
卖点
  • SECS ∕ GEM 功能
  • 可 12寸铁环贴 12寸晶圆裂片
  • OCR Wafer ID 辨识
  • 可对应表面有金属球晶圆
  • 可裂片 8寸 ∕ 12寸 晶圆以软件切换,无须更换治具
  • 依产品需求 , 可品种设定晶圆正面或反面取像
  • 特殊软垫平台结构,提高产品裂片良率
  • 使用先进集尘功能,干式实时清洁
专利

各种专利裂片模式具备多种未断侦测功能

机台优势
  • 卡匣条码转品种功能
  • 人性化设计可调操作接口,可搭配站姿与坐姿
  • 裂片速度可于作业中实时变换,大幅增加良率
  • 多段式压力实时侦测,全自动演算最佳断裂参数,提高产品良率
  • 全自动 CCD 对位重复确认并随品种切换,自动裂片
  • CCD 自动对焦,可对应翘曲产品
  • 铁环翘曲侦测功能
作业方式

拉出抽屉放置卡匣 → 夹爪从卡匣取出铁环 → 取出铁环后退至整定位 → 整定完成后移载手臂磁铁气缸下降吸住铁环 → 手臂移动经过 OCR 时止移动确认晶圆条码 → 确认完成后手臂继续移动至裂片平台,移载手臂磁铁气缸上升使磁铁离开铁环将铁还放置裂片平台 → 平台移动至裂片区开始裂片 → 裂片完成后,移载手臂取铁环 → 移动至夹爪平台整定 → 整定后夹爪夹取铁环将铁环放回卡匣。

设备规格
设备尺寸 1555 mm × 1800 mm × 1980 mm ( L×W×H )
设备重量 1800 kg
电源AC 3 Ø ∕ 220 50 ∕ 60 HZ Volt. (V)
空气源 85-114 psi ∕ 2 ft3/min
@ 12mm diameter
设备应用范围
晶圆尺寸 8寸 12寸
晶粒尺寸 2 ~ 150 mm
铁环尺寸 12寸
机台特性
上 CCD

X 轴上 CCD 自动识别不透光(ODR)产品

下 CCD

X 轴下 CCD 机构助力上 CCD 对刀轴线

卡匣

双卡匣设计

晶圆条码读取
卡匣条码读取
全自动快速生产
劈刀清洁吸尘

于劈刀旁边设计一组可移动式旋转毛刷并同步进行吸尘动作,以防止劈刀可能长时间沾黏玻璃碎屑

*网站信息仅供参考,实际设备规格依双方交易中规格书载明内容为主。

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