2611-1FA
全自動晶圓貼膜機／貼合機

• 步驟一：將 12吋 FOUP 放置於 Load Port 上，各膜料安裝至指定位置後開始作業。
• 步驟二：Load Port 開蓋，完成 Mapping 掃描。機械手臂將第一片晶圓從晶圓盒取出，置於尋邊對位載台上開始進行尋邊校正。機械手臂再將第二片取出放置於暫存牙叉上。
• 步驟三：機械手臂將已完成校正晶圓取至貼膜平台。貼膜平台上升至貼膜作業位置。同時暫存區移載機構將第二片晶圓移載至尋邊對位載台上進行尋邊校正。機械手臂使用快換裝置，將牙叉放置於牙叉放置位，至切刀預熱區取切割刀。
• 步驟四：貼膜滾輪將膠膜貼附至晶圓上。
• 步驟五：機械手臂將切割刀對晶圓邊緣切割膜料，切割完成後機械手臂離開貼膜區。機械手臂使用快換裝置將切割刀放回預熱區，至牙叉放置區取牙叉。貼膜平台下降至進出交握位。
• 步驟六：機械手臂將已完成貼膜晶圓取回 FOUP。
• 步驟七：機械手臂再從晶圓盒取出第三片晶圓放置暫存牙叉上。

《持續重複步驟三~步驟七》

清刃作業：機械手臂將刀由預熱區取至清刃位，完成清刃後放回切刀預熱區。