特點
- 機台可不停機連續作業
- 貼膜張力控制
機台優勢
- 採用視覺對位方式，圓形片與方形片達到共用機制
- FFU HEPA 高效率空氣過濾符合 Class 1000 無塵環境
- 雙螢幕觸控介面
- AGV 無人搬運系統搭配自動上下料
作業方式
- 全自動
設備規格
| 設備尺寸 | 1850 × 2003 × 2500 mm (Ｗ×Ｄ×Ｈ) |
|---|---|
| 設備重量 | 1740 kg |
| 電源ＡＣ | 單相 220V 60HZ |
| 空氣源 | 6kgf ∕ cm2 |
設備應用範圍
| 晶圓尺寸 | 8吋圓片、12吋圓片、方片 212 × 216 mm |
|---|---|
| 膜料尺寸 | 8吋 230 mm × 100 米 12吋 330 mm × 100 米 方片 330 mm × 100 米 |
機台特性
AGV
無人搬運系統搭配自動上下料
貼膜滾輪加熱
最高溫度110度
切刀/載台加熱
切刀加熱，最高溫度200度
晶圓載台溫控，最高溫度110度
切刀清潔功能
切割刀刃清潔
晶圓ID辨識
OCR辨識讀取功能
支援靜電消除
靜電消除器
錶頭訊號回饋
監測錶頭數位化、訊號回饋
支援SECS/GEM
SECS ∕ GEM系統 含E84 通訊協定
*網站資訊僅供參考，實際設備規格依雙方交易中規格書載明內容為主。
