特點
- 可依照品種改變調整累積光
- Bernoulli Fork 設置，可對應翹曲度 7mm 以下晶片
- 貼膜視覺瑕疵檢查，撕除 UV 膠膜
- Precut 膠膜低張力貼膜機制
機台優勢
- 照度監測
- 照射室溫度監測
- 多螢幕觸控介面
- FFU HEPA 高效率空氣過濾符合 Class 1000 無塵環境
- AGV 無人搬運系統搭配上下料
- 膠膜 RFID 辨識系統
- 手持式條碼槍設置
作業方式
全自動
設備規格
| 設備尺寸 | 3323 × 2930 × 2573 mm (Ｗ×Ｄ×Ｈ) |
|---|---|
| 設備重量 | 4600 kg |
| 電源ＡＣ | 單相220V 60Hz |
| 空氣源 | 6kgf ∕ cm2 |
設備應用範圍
| 晶圓尺寸 | 8吋圓片、12吋圓片、方片 212 × 216 mm |
|---|---|
| 鐵環尺寸 | 外徑 Ø296，內徑 250，寬 276，ｔ＝1.2 mm 外徑 Ø400，內徑 350，寬 380，ｔ＝1.5 mm |
| 膜料尺寸 | 8吋Precut = 290 mm，normal =300 mm 12吋Precut = 390 mm，normal = 400 mm |
機台特性
Precut 膠膜貼附機制
實現低張力貼膜
斜插判斷
卡匣內片數、位置、疊片、斜插偵測
AGV
無人搬運系統搭配自動上下料
溫度監控
照度計監測，溫度監測
錶頭訊號回饋
監測錶頭數位化、訊號回饋
貼標系統
可對應 60 x 10與 60 x 12 mm 標籤紙大小
支援靜電消除
靜電消除器
支援SECS/GEM
SECS ∕ GEM系統 含E84 通訊協定
*網站資訊僅供參考，實際設備規格依雙方交易中規格書載明內容為主。
