特點
- 適用八角鐵環
- 適用 2吋 ~ 6吋晶圓
- 刀切
機台優勢
- 無氣泡殘留
- 不損傷鐵環
- 抽換膜料容易
- 人性化操作介面
- 可兼作半自動撕膜機用
- 可重覆滾壓晶圓增加附著力
作業方式
將 10吋鐵環放置於貼片機移載台上，再將晶圓放置於晶圓吸附座上，啟動鐵環吸附和晶圓吸附，夾住膠膜並滾壓移載台移動至切割位，切割刀下降於鐵環上，旋轉刀具，完成後上升，移載台移出至放置區前。貼合完成後由操作者將工作物取下。
設備規格
| 設備尺寸 | 900 mm× 1100 mm × 2256 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ ) |
|---|---|
| 設備重量 | 600 kg |
| 電源ＡＣ | 1 Ø 220 V ∕ 10 A |
| 空氣源 | 5 Kgf/cm2 (10 ØTube) |
設備應用範圍
| 晶圓尺寸 | 2吋~ 6吋 |
|---|---|
| 晶粒尺寸 | 無 |
| 雷切深度 | 無 |
| 鐵環尺寸 | 10吋 Flat Ring ( 內徑 Ø 300 mm ; 外徑 360 mm ;ｔ＝ 1.0 ~ 1.3 mm ) |
機台特性
鐵環放置檢知
多種晶圓吸附選項功能
可單獨做鐵環貼膜作業
快速抽換膜料
快速抽換膜料和更換廢料捲軸
*網站資訊僅供參考，實際設備規格依雙方交易中規格書載明內容為主。
