2611-1FA
全自动晶圆贴膜机／贴合机

• 步骤一：将 12吋 FOUP 放置于 Load Port 上，各膜料安装至指定位置后开始作业。
• 步骤二：Load Port 开盖，完成 Mapping 扫描。机械手臂将第一片晶圆从晶圆盒取出，置于寻边对位载台上开始进行寻边校正。机械手臂再将第二片取出放置于暂存牙叉上。
• 步骤三：机械手臂将已完成校正晶圆取至贴膜平台。贴膜平台上升至贴膜作业位置。 同时暂存区移载机构将第二片晶圆移载至寻边对位载台上进行寻边校正。机械手臂使用快换装置，将牙叉放置于牙叉放置位，至切刀预热区取切割刀。
• 步骤四：贴膜滚轮将胶膜贴附至晶圆上。
• 步骤五：机械手臂将切割刀对晶圆边缘切割膜料，切割完成后机械手臂离开贴膜区。 机械手臂使用快换装置将切割刀放回预热区，至牙叉放置区取牙叉。贴膜平台下降至进出交握位。
• 步骤六：机械手臂将已完成贴膜晶圆取回 FOUP。
• 步骤七：机械手臂再从晶圆盒取出第三片晶圆放置暂存牙叉上。

《持续重复步骤三~步骤七》

清刃作业：机械手臂将刀由预热区取至清刃位，完成清刃后放回切刀预热区。