特點
- SECS / GEM 功能
- 全自動超音波洗淨
- 條碼讀取
機台優勢
- 可置放兩組卡匣
- 加熱功能
- 四面溢流與過濾循環功能
作業方式
- 第一槽: 藥劑超音波槽。
- 第二槽: 藥劑超音波槽。
- 第三槽: 純水 QDR 槽。
- 第四槽: 純水 QDR 槽。
- 第五槽: 純水 QDR 槽。
- 第六槽: 真空乾燥槽。
設備規格
| 設備尺寸 | 4330 mm × 2120 mm × 2980 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ ) |
|---|---|
| 設備重量 | 3500 kg |
| 電源ＡＣ | 415V (50/60 Hz) 3 phase 5 wire Volt.(V) 240V (50/60 Hz) (RSTNG) Volt.(V) |
| 空氣源 | 壓縮乾燥空氣 6~8 Kgf/cm2 |
| N2 | General Nitrogen 2 m³/min |
設備應用範圍
| 晶圓尺寸 | 6吋 晶圓 |
|---|---|
| 晶粒尺寸 | – |
| 雷切深度 | – |
| 膠環尺寸 | – |
| 膜料尺寸 | – |
機台特性
全自動作業
全自動快速清洗
條碼讀取
入料站設有片數檢查功能與晶圓盒 ID 讀取功能
卡匣
可置放兩組卡匣
超音波洗淨
智慧型自動追頻式主機
加熱
加熱功能，最高溫 90°C
Sensor
Level Sensor 用以偵測液位，並設有漏液檢知
上下擺動
上下擺動功能，可作速度調整
晶圓傾斜
晶圓傾斜調整，可作角度調整
溢流與循環
四面溢流與過濾循環功能
水阻監控
水阻值監控計
*網站資訊僅供參考，實際設備規格依雙方交易中規格書載明內容為主。
