特點
- 可依照燈管光衰現象自動調整累積光量
- 氮氣腔體，固化工件打印記號
機台優勢
- 照度監測
- 氮氣室設置
- 雙搬運手臂作業，AGV無人搬運系統搭配上下料
作業方式
- 全自動
設備規格
| 設備尺寸 | 2265 × 1435 × 2317 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ ) |
|---|---|
| 設備重量 | 1790 kg |
| 電源ＡＣ | 單相 220V 60Hz |
| 空氣源 | 6kgf ∕ cm2 |
設備應用範圍
| 晶圓尺寸 | 8吋圓片、12吋圓片、方片 212 × 216 mm |
|---|---|
| 鐵環尺寸 | 外徑 Ø296 ，內徑 250，寬 276，ｔ＝1.2 mm 外徑 Ø400 ，內徑 350，寬 380，ｔ＝1.5 mm |
| 膜料尺寸 | – |
機台特性
條碼讀取
卡匣條碼讀取，鐵環條碼讀取
斜插判斷
卡匣內片數、位置、疊片、斜插偵測
AGV
無人搬運系統搭配自動上下料
溫度監控
照度計監測，溫度監測
錶頭訊號回饋
監測錶頭數位化、訊號回饋
支援靜電消除
靜電消除器
支援 SECS/GEM
SECS ∕ GEM系統 含E84 通訊協定
*網站資訊僅供參考，實際設備規格依雙方交易中規格書載明內容為主。
