特點
- 採用 UV LED 光源，均勻度佳，壽命長，工作溫度低，照度監控
- 配備氮氣腔，氮氣耗量小，效果佳
- 支援 RFID，SECS／GEM，空中無人搬運 OHT 系統
機台優勢
- 氮氣環境
- LED UV 光源
- 無須預熱暖機
- 不含汞，也不會產生對人體有害的臭氧
作業方式
- 步驟一：將 12吋鐵環卡匣放置於載台上。
- 步驟二：Mapping Sensor 開始掃描卡匣內鐵環數量並偵測是否有斜插放置。
- 步驟三：夾爪取出鐵環至整定位置進行鐵環校正。
- 步驟四：交替手臂（A）將校正後第一片鐵環搬移至照射平台。同時夾爪再取出第二片鐵環進行校正。
- 步驟五：照射平台移至 UV照射室內，N2 氣流盤下降至照射平台上進行 N2 循環吹氣。 同時交握手臂（B）取起第二片校正後鐵環待命。
- 步驟六：UV燈開啟，UV燈由照射平台下方緩慢移動照射整面膠膜使其固化。
- 步驟七：照射平台移出照射室由交替手臂（A）取出第一片鐵環搬移至整定位置，再由交替手臂（B）將第二片鐵環放置於照射平台進行照射。
- 步驟八：夾爪將第一片解膠完成鐵環放回卡匣內，再取出第三片鐵環。
《持續重複步驟三~步驟八》
設備規格
| 設備尺寸 | 1925 × 1445 × 1840 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ )（不含訊號塔燈） |
|---|---|
| 設備重量 | 1350 kg |
| 電源ＡＣ | 220 (1 phase) |
| 空氣源 | Air Pressure 0.5~0.7 MPa Air Tube Diameter Ø10 mm |
設備應用範圍
| 晶圓尺寸 | 12吋 |
|---|---|
| 晶粒尺寸 | – |
| 雷切深度 | – |
| 鐵環尺寸 | 12吋 |
| 膜料尺寸 | – |
機台特性
卡匣入料
單一卡匣進行作業
支援 OHT
OHT 無塵室天車輸送系統預留
斜插判斷
晶片掃描片數，斜插判斷
效率佳
雙吸盤手臂交替搬運，減少等待時間
支援 RFID
卡匣 RFID 讀取
支援靜電消除
靜電消除器
表頭訊號回饋
各監測錶頭數位化、訊號回饋
照度監控
可依據生產需求，調整 UV燈照射強度
溫度監控
UV照度監測，溫度監測
工作溫度低
無熱輻射，被照物表面溫升低
光均勻度佳
光輸出穩定，照射效果均勻
支援 SECS/GEM
SECS/GEM 系统含 E84 通訊協定
*網站資訊僅供參考，實際設備規格依雙方交易中規格書載明內容為主。
